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光纤F—P腔压力传感器因其独有的优点广泛应用于军事、民用领域。国内外诸多高校、科研院所都在对其进行研究。本文介绍了光纤F—P腔压力传感器的研究进展,对全光纤结构F-P压力传感器、激光加工微型光纤压力传感器、二氧化硅膜片压力传感器的结构和制作过程进行了总结,并对利用MEMS制作压力传感器的工艺进行了详述,对比分析了不同加工工艺下传感器的性能及其优缺点。 相似文献
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光纤传感器在测量领域的发展与应用 总被引:5,自引:0,他引:5
光纤传感器是近年来发展起来的一种新型传感器的技术,本文介绍了两种不同类型的新型光纤传感器的结构原理及在不同领域的应用,并介绍了光纤传感器在测量领域广阔的应用前景。 相似文献
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膜片式F-P腔光纤压力传感器是基于法布里-珀罗干涉原理,采用微电子机械系统(MEMS)技术加工而成。在实际应用中,不同的测试环境对传感器灵敏度的要求各不相同,如果针对不同灵敏度,分别采用MEMS工艺批量化生产,则会造成生产成本过高,经济化效益降低。本文利用湿法腐蚀的方法对传感器进行膜片减薄试验,在一定范围内提高了传感器的压力灵敏度,从而满足了不同的测试需求。膜片减薄后,传感器的灵敏度可达34.2 nm/kPa,压力标定曲线的线性度为0.9997,传感器的非线性误差为0.05%,能够实现0~120 kPa(绝压)范围内压力的准确测量。 相似文献
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介绍了一种基于法布里-珀罗干涉原理的EFPI光纤压力传感器。详细分析了这种光纤压力传感器的原理、结构和解调方法;讨论分析了材料、结构以及制作工艺对零点稳定性的影响;探讨了传感器内部热应力的分布以及消除方法。该结构传感器在经历-40℃和400℃的严酷温度考验后,零点漂移小于3 nm。 相似文献
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汪宝宁 《自动驾驶仪与红外技术》1995,(1):20-24
光纤传感器发展很快,它作为测量元件被应用到惯性技术中,除光纤陀螺外,光纤加速度计的应用成为必然。光纤加速度计与机电加速度计相比,精度高,灵敏度好,它集光机电技术于一体。文中简述了开环和闭环光纤加速度计的工作原理,技术难点,及应用前景。 相似文献
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对调频光外差光纤位移传感器的动态响应速度进行了理论分析和实验论证。实验结果表明:调频光外差光纤位移传感器响应速度的提高,可通过增大调制频率和利用拍频信号的高次谐波成分来实现。 相似文献
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大多数光纤陀螺的结构为Sagnac干涉仪,是干涉型光纤陀螺,并且对输入的传动速率仅呈现二阶(余弦)敏感性,为引入一阶(正弦)敏感性需进行相位调制,这使我们能够观测输入角速率的大小和方向,光纤陀螺相位调制,第一个是测量角速率的信噪比,第二个是校正引起陀螺漂移的调制信号的电耦合,在早期的光纤陀螺中,是把±π/2的方波调制信号加在干涉仪中,后来,±π/2或3π/2与方波复合调制被用来校准阳位调制的精度。 相似文献
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由四个弹性梁和一个刚性中心膜构成的梁-膜结构,具有平面应力集中效应,与一般的结构相比,这种膜片在受到微压时即产生较大的应力集中,使传感器在测量微压时有较高的灵敏度,它的特别的结构能解决一般结构膜片在很薄时由膜应力和弯曲应力产生的严重的非线性。介绍的这种双面腐蚀形成的梁-膜结构的硅压阻式微压传感器的设计就是采用这种应力集中原理,芯片结构的力学特性分析及样件测试结果表明,这种结构的微压传感器具有较高的灵敏度和较低的非线性,成功地实现了对微小压力的测量。利用有限元仿真计算对用于100Pa压力测量的梁-膜结构硅压力传感器的结构参数进行优化,并对芯片版图设计、制作工艺技术和传感器的特性等问题进行了讨论。 相似文献
10.
史兴宽 《航空精密制造技术》1998,(4)
在研磨盘的不同位置打深盲孔,近于贯穿,仅留下薄薄一圆形平膜片,作为抛光法向压力的敏感元件。此圆平膜片半径,厚度由位移敏感元件灵敏度及抛光所容许的外扰(对实际工作状态影响足够小)决定。在此孔中安置光纤位移传感器测量圆平膜片的变形位移,就可解算出抛光时研磨盘的局部压力。信号调制后通过多路遥测装置或电刷滑环等集流器将信号引出。 相似文献