超精密CNC平面磨床在线测量、补偿加工及对刀功能的自动化实现

介绍了大型超精密ＣＮＣ平面磨床测量控制系统设计中多传感器在线检测、导轨误差补偿加工以及超精密磨削对刀等特殊功能的实现方法,并将其纳入ＣＮＣ的Ｍ功能指令系统,实现了超精密平面磨削自动化     

波面激光干涉仪在超精密加工中的应用

介绍了超精密加工的发展趋势和技术特点,介绍了波面激光干涉仪的测量原理及使用技巧,重点阐述了如何在超精密加工的多个环节,如工件检测、精密对刀、误差补偿中发挥波面激光干涉仪的作用。     

用于精密和超精密测长的双频激光干涉仪

叙述了双频激光干涉仪在精密和超精密测长技术领域中的应用，讨论了双频激光干涉仪所涉及的关键技术，提出了在应用中需要进行的误差处理，目的是提高在精密和超精密测长应用中的测量精度。     

一种精密离心机误差分析与精度评定方法

介绍了用于线加速度计精密离心试验的精密离心机设备各项误差的来源和定义。详细分析了精密离心机各项误差在线加速度计离心机试验中对仪表给定加速度精度的影响并给出了具体的计算方法。在线加速度计精密离心机试验中，可根据每个误差项的具体来源和影响，对误差项进行补偿或忽略，以提高测试精度和降低试验难度。对于计入的误差项，可计算出具体的数值，从而综合确定出精密离心机设备对整个测试实验的不确定度影响。通过研究精密离心机误差模型，找到了提高精密离心机给定加速度输入精度的途径，给出了工程化的用于精密离心机精度评定的方法。     

非球面超精密车削过程中的轮廓补偿控制方法

介绍了一种可提高非球曲面超精密加工机床的轮廓跟踪精神匠误差补偿控制方法。该轮廓补偿控制器是机床轮廓位置伺服系统的一部分，它以二交一代替原微直线段来逼近给定轮廓，可提高系统的轮廓逼近精度，并减小插补数据不连连对伺服系统的冲击，从而最终提高轮廓的加工精度。     

超精密平面磨床设计中的关键技术

介绍了超精密平面磨床设计中的主要关键技术．主轴及Ｘ．Ｙ．Ｚ轴导轨均采用了气体静压成液体静压轴承，采用误差补偿技术对Ｘ．Ｙ轴导轨误差进行补偿，三轴均由ＣＮＣ系统控制．设计了分辨率为０．０１μｍ的砂轮特殊微量进给装置，并应用了砂轮电解在线修整（ＥＬＩＤ）技术．     

辊筒模具超精密加工机床几何误差建模及其补偿策略研究

本文以超精密模辊机床为研究载体,将具有代表性的环槽微结构阵列作为研究对象。通过多体系统理论以及齐次坐标变换的方法建立机床的几何误差模型从而得到几何误差对环槽微结构阵列的影响,并用激光干涉仪对几何误差分量进行了测量。在进行数据处理后提出了一种补偿方法使环槽微结构的加工质量得到了改善。     

影响超精密车床加工精度的因素及其对策

结合ＨＣＭ－Ｉ型超精密车床的实际ｑ详细分析了影响超精密车床精度的几种主要因素，并提出了在数控系统中进行实时补偿的方法     

超精车削中圆度误差的随机补偿

 在超精车削中用补偿主轴误差来提高工件圆度,在国产超精密车床S1-235上使用金刚石车刀进行的镜面切削实验。结果表明,用随机补偿的方法可使工件圆度改善60％以上,表面粗糙度不受影响,其圆度值小于0.05μm。     

非球曲面超精密车削过程中的轮廓补偿控制方法

介绍了一种可提高非球曲面超精密加工机床的轮廓跟踪精度的误差补偿控制方法。该轮廓补偿控制器是机床轮廓位置伺服系统的一部分,它以二次曲线代替原微直线段来逼近给定轮廓,可提高系统的轮廓逼近精度,并减小插补数据不连续对伺服系统的冲击,从而最终提高轮廓的加工精度。