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分析起光滑表面清洗技术所面临的问题和发展现状,介绍先进清洗技术的清洗机理、工作原理和基本实现方法,旨在促进这些新技术的研究和应用,使以超光滑表面为代表的半导体工业、微电子工业在高洁净表面清洗技术上得到进一步发展. 相似文献
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微晶玻璃因其良好的机械性能和较高温度下的化学稳定性而被用作激光陀螺反射镜基底材料,但两相多晶结构又使其清洗后易受腐蚀,损伤超光滑表面。通过对微晶玻璃化学稳定性进行分析,确定适宜清洗微晶玻璃超光滑表面的无腐蚀性清洗剂。通过对清洗剂体积浓度、清洗温度、清洗时间的研究,确定了清洗剂的清洗参数。根据优化后的工艺参数进行清洗,微晶玻璃超光滑表面粗糙度由清洗前的0.117nm降低到清洗后的0.061nm,接触角由清洗前的22.5°降低到清洗后的5.1°,镀膜后积分散射均值为8.0×10-6,最终获得微晶玻璃反射镜高洁净低损伤超光滑表面。 相似文献
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激光表面清除处理及应用 总被引:2,自引:0,他引:2
叙述了激光清除处理技术的特点及系统装置,较具体地介绍了国外采用激光除去漆层、锈蚀层、绝缘材料和基片表面外来微粒的研究情况以及作者所进行的光学元件超光滑表面的激光辅助清洗试验研究。 相似文献
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介绍了浮法抛光的机械结构与抛光原理,并采用这种技术在CJY500超精密研磨机上进行长方形GCr15轴承钢工件超光滑表面的工艺试验,成功获得了无加工变质层的金属纳米级超光滑表面,拓展了浮法抛光技术的应用范围,对于金属工件纳米级超光滑表面的加工具有参考价值. 相似文献
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激光陀螺超光滑反射镜基片的光学加工和检测技术 总被引:6,自引:1,他引:6
讨论了激光陀螺超光滑光学反射镜基片的加工和检测技术,并给出了超光滑光学基片的非接触光学测量仪和原子力显微镜的测试图。还论述了原子力显微镜测试的准确性以及超光滑光学表面的分形特征。 相似文献
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《航空精密制造技术》2003,(6)
◇精密加工基于超声研磨的超精密加工………………………………(1)精密加工中非球面工件面形精度的在机测量……………(1)基于小型三坐标测量机的机械研究………………………(1)超光滑表面清洗技术现状及其发展趋势…………………(2)激光陀螺超光滑反射镜基片的光学加工和检测技术……(2)光纤连接器超精密加工技术的研究………………………(3)智能材料在微机械中的应用及发展………………………(3)超精密车削表面三维微观形貌仿真及特征分析…………(4)卫星轴承钢珠精化技术研究………………………………(4)基于AFM电场诱导氧化的纳米加工… 相似文献
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清洗剂研究是发动机清洗技术的核心环节。随着舰载机服役,研究探索适合舰载机发动机使用的清洗剂是舰载机清洗技术实施的关键。在选择国内某清洗剂基础上,对舰载机发动机典型材料参照国军标开展了清洗剂的全浸泡腐蚀、高温腐蚀、夹层腐蚀及钛合金应力腐蚀等考核试验,试验结果表明该型清洗剂可满足舰载发动机的清洗使用要求。为研究各主要因素对清洗效率的影响规律,对不同清洗液配比、清洗温度及浸泡时间等因素下的清洗效果进行对比分析,清洗液配比、清洗温度及浸泡时间对不同材料清洗效率的影响具有较大差异性,并初步给出了某舰载发动机在线及离线清洗建议。 相似文献
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光学基片表面软质抛光胶体粒子的激光清洗 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了光学基片表面软质抛光胶体粒子激光清洗的基本方法、原理和实验装置,并通过对含有污染微粒的基片表面进行激光清洗,获得了高洁净表面的光学基片. 相似文献
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本控制器利用AT90S8515中定时器计数器1的PWM输出功能控制正弦波调幅模块ZXB-10A-F/H,实现对工频离心风机的无级调速,使净化台的排风量实现平滑控制。 相似文献
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PLC在货车轴承清洗机中的应用 总被引:2,自引:0,他引:2
设计了一种新型铁路货车轴承清洗机的清洗工艺过程,开发实施了清洗机的控制系统。着重阐述了用PLC对其运行过程进行自动检测的应用情况,并结合实际设备分析了PLC控制系统的硬件构成和软件特点。现场实际应用的结果表明,设备具有清洗效果良好、自动化程度高、运行稳定可靠等特点。 相似文献
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液流变加工技术的探索性研究 总被引:1,自引:0,他引:1
研究利用纳米SiC悬浊液作为对光学玻璃K9超光滑加工的载体,配制了适合液流变纳米加工,具有较好分散性和稳定性的纳米SiC颗粒悬浊液,研究了液流变纳米加工的机理,并用该悬浊液对光学玻璃K9进行试验加工,结果显示,最终得到的光学玻璃K9表面经过AFM测试,得到Ra=0.84nm。 相似文献