北京遥测技术研究所MEMS工程中心

北京遥测技术研究所MEMS工程中心位于北京市丰台区东高地四营门北路2号院,中心洁净厂房总面积约1700 m2,是集设计、制造于一体的MEMS传感器产业基地及MEMS技术创新平台。中心根据产品生产需求和先进的工艺设计加工理念,建立了薄膜压力传感器及石英角速率传感器两条批量产品生产线。经过多年来的发展,还建立了碳化硅高温压力传感器、谐振式高精度压力传感器、石英振梁加速度传感器、硅微压力传感器、射频微同轴MEMS器件等先进产品研试线。     

惯性器件制造中零件系列孔径检测技术

为了确保惯性器件制造质量，研制了一种误差最大变动范围小于1μm的计量器具，设计制造出了结构新颖的测量装置，通过计算和验证，合理确定测量范围和测量力，解决了高精度的小型传感器和位移传递精度高的检测技术问题，把在位检测技术提高到一个新的水平。     

单目视觉惯性里程计硬件平台的研究

随着SLAM技术的不断发展,视觉SLAM技术成为了该领域的研究热点问题。其中的视觉惯性里程计分支更是视觉SLAM中的热点问题。近些年科学家们的研究大多数是基于高性能传感器的硬件环境或是数据集下进行研究,取得了显著的成果。这些成果也推动了整个SLAM领域的发展,使得研究成果逐渐向工业界转化。但是工业界对成本的敏感使得这些在高性能硬件环境下研究的算法不一定能很好的应用在嵌入式系统中。基于这样一个问题,本文设计了一款基于嵌入式的单目视觉惯性里程计的硬件平台,该平台使用的是低成本的传感器做为感知模块,使用ZYNQ做为数据处理单元,开发人员可以在该平台上研究视觉惯性里程计的问题以及对现有算法进行优化,使得学术研究的SLAM算法可以应用到嵌入式系统中。     

微机电系统技术及其在卫星中的应用

一、微机电系统(MEMS)技术概述MEMS技术的术语近几年来不仅在传感器技术、测控技术和微电子技术领域频繁出现,也在航天技术领域中不断出现。     

复旦大学成功研制出半浮栅晶体管器件

<正>据中国科技部网站2013年8月29日消息,复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室,近期取得重大突破,成功研发出半浮栅晶体管(SFGT)。采用该新器件构成的动态随机存储器,无需电容器便可实现传统动态随机存储器全部功能,不但成本大幅降低,而且集成度更高,读写速度更快。此外,半浮栅晶体管还可应用于主动式图像传感器芯片,提高感光单元密度,从而提升图像传感器的分辨率和灵敏度。半浮栅晶体管     

“全球鹰”开始接收增强型综合传感器设备

作为高空长航时无人机螺旋式发展计划的一部分,美空军“全球鹰”无人机于2005年起开始接收改进型传感器成套设备。目前“全球鹰”综合传感器成套设备(ISS)是Raytheon公司生产的,与传感器电子单元和综合处理器相联,包括光电/红外(EO/IR)传感器、合成孔径雷达/动目标指示器(SAR/MTI)。改进型传感器被命名为增强型综合传感器成套设备(EISS),仍由Raytheon公司负责研制。据介绍,通过安装精密光学望远镜和应用实时焦点控制技术以及提高SAR的发射机功率和安装更大的天线,使得EISS的EO/IR传感器和SAR/MTI的工作范围提高了50%。根据20…     

航天部北京遥测技术研究所传感器事业部简介

航天部北京遥测技术研究所传感器事业部是科研、生产、开发、经营相结合的科研机构,是航天部传感器研究力量最集中的单位。拥有近百名科技人员,其中大部分从事传感器和信号调节器研究近30年。拥有高级工程师15名,工程师40余人。1984年开始,招收航天飞行器仪表专业研究生12名。近30年来,传感器事业部主要从事温度、压力、流量、位移、过载、振动、噪声、脉     

CY5系列压阻式压力传感器

CYS系列压力传感器是利用半导体的压阻效应制成的压阻式压力传感器。自1985年鉴定以来,根据一些用户的使用要求,已派生出不同用途的许多品种和规格。这些产品经过试验和试用,证明其性能良好,可投入小批量或批量性生产,供用户选用。下面对这种传感器作一介绍。     

VAISALA湿度传感器的故障检测与诊断

VAISALA公司生产的自动观测系统在民航系统应用很广,该系统对稳定度和准确性的要求很高。作为系统中非常关键的元件——传感器,一旦出现故障将直接影响整个系统的结果输出。因此,针对传感器的故障检测与诊断研究是很有必要的。本文通过对成都2005年9月一次湿度传感器故障的检测     

声光连续可变延迟线及其应用

介绍声光连续可变延迟线的工作原理及其在雷达和电子战系统中的应用,以及由声光可变延迟线构成的模拟器性能指标及其发展趋势。采用这种模拟器给雷达和电子战系统的研制、生产、试验、评估和训练提供了新的支援手段。利用该技术可以提供连续的目标运动,复杂目标的机动,低的寄生电平和降低成本。     

热电偶温度传感器灌封工艺方法

使用原有工艺制备的热电偶温度传感器曾多次出现热偶丝断线问题,不能满足发动机高工况、长时间的热试车和飞行环境要求。为了提高传感器的可靠性,采用玻璃灌封工艺,从8-2玻璃粉、无碱玻璃纤维套管的选用和烧结工艺两方面进行研究,确定了合理的工艺参数。利用上述工艺方法生产的传感器无大气泡存在,并经过1 950 s的试车考核,传感器未出现断线问题。新的灌封材料、灌封工艺、烧结工艺使传感器具有在强振动条件下可靠工作的特点,提高了传感器的结构可靠性。     

空间CCD图像传感器辐射损伤评估方法

CCD图像传感器作为高灵敏度光电集成部件,易受空间辐射的影响而发生性能退化和工作异常。开展其辐射效应评价研究并制定相应的防护对策,是保证其在空间可靠应用的前提。文章通过地面模拟试验和辐射屏蔽计算,对空间用CCD图像传感器电离辐射损伤与位移损伤效应开展评估方法研究,为CCD抗辐射加固设计与地面评估试验提供参考。该方法也可用于其他光电器件和材料辐射效应评价。     

采用矢量网络分析仪（VNA）提取平衡器件的特征

在设计射频和微波电路时需要差分拓扑技术，但生产厂商有时没有给出器件在所关注频率上的差分输入阻抗，需要使用者自行测量提取。本文阐述提取特征参数的三种方法，举例说明实际操作步骤，并作了误差分析。     

传感器焊接工艺改进

对近几年工作中遇到的多种传感器焊接过程中所做的一些工艺改进加以总结和阐述。主要包括温度传感器壳体焊接、温度传感器敏感体焊接和压力传感器焊接过程中的工艺方法改进,解决了生产中的实际问题。在提高产品质量的同时,由于合格率大幅度提高从而节约了大量的财力、物力,取得了很好的经济效益。     

面阵CCD成像技术

简要介绍面阵CCD成像的基本原理，概述面阵CCD的发展及生产情况，并描述了两个典型面阵系统。     

传感器技术学术交流会在杭州召开

中国自动化学会三遥专业委员会和杭州自动化协会于1982年十月召开传感器技术学术交流会。参加会议的有来自全国各地教学、科研、设计和生产使用部门共九十三个单位一百四十四名代表,会议由中国自动化学会理事三遥专业委员会主任委员吴德雨同志和杭州市自动化协会付理事长陈桢同志主持,会议期间除大会和分组会的学术报告以外,还展示了百余种各种原理和功能的传感器,并展出了丰富的国外传感器技术情报资料。这次会议是我国传     

有关压力传感器可靠性设计的若干问题

论述压力传感器的研制和应用中的经验教训。着重讨论从任务书要求，工程化设计，到生产过程有关压力信号特征、压力接口以及功能与结构相关性，功能与材料相关性等问题。     

可见光和红外传感器的飞行实验

可见光和近可见光传感器在研究阶段初期曾被广泛应用,后来,微波传感器的出现使其相形见拙。然而,在近期的大量新一代传感器的飞行实验中,这种传感器大有东山再起之势。本文将简要介绍可见光及红外等第一代传感器及其在机载实验中的使用情况,叙述从机械式到推扫式扫描仪再到非扫描传感器的发展过程。本文所提及的传感器均为法国及欧洲最新的传感器设备。     

考虑传感器故障检测能力的PHM系统传感器优化配置方法

传感器优化配置是航空航天设备PHM系统功能得以有效实现的基础和保证。针对目前传感器配置研究中未考虑传感器实际属性的问题,建立了考虑传感器故障检测能力的PHM系统传感器优化配置模型。首先分析了系统故障-传感器相关性矩阵的含义,将传感器的故障检测能力和相关性矩阵相结合,以概率形式描述了传感器对故障的检测性能。在此基础上根据系统的测试性指标要求建立传感器优化配置模型,并采用混沌二进制粒子群优化算法求解。仿真实例结果表明,本文建立的优化模型更加符合实际情况,配置结果更加准确和可靠。     

脉冲调制输出的CMOS集成硅气体流量传感器

现已研制成功一种具有脉冲调制输出的单片集成热式气体流量传感器,其输出脉冲宽度比和流速有关。制造这种传感器时,除使用EDP各向异性刻蚀剂制作传感器外形之外,其余均采用标准的CMOS工艺。传感器的加热部分和非加热部分之间用聚酰亚胺隔热。传感器具有内部气体温度补偿装置。在2～30m/s流速范围内,传感器的灵敏度为0.03m/s。按传感器的设计。本传感器也适合于双线式结构形式