谐振式微机械惯性传感器

对几种典型的谐振式加速度微传感器和微陀螺的结构、工作原理等方面进行了概述,分析了各自的应用特点。从中反映出谐振式微惯性传感器具有优良的特性,必有广阔的应用和发展前景。     

具有集成光学敏感的微机电振动惯性传感器

设计和制造微机电系统（ＭＥＭＳ）是全球日益关注的新技术。这一新兴的工程领域的技术目的是实现有微机电相关集成的微机械系统。在众多的新颖应用中,惯性敏感器件成为一个倍受关注的领域和研发热点。大多数的工作集中于振动惯性敏感器件,其中,传感器的动态运动依惯性测量参数的不同而变化。     

航空惯性技术的现状及发展

航空惯性技术在我国已取得较大进展。本文介绍了我国航空惯性技术的现状,指出了未来航空惯性技术的发展方向。     

MOEMS惯性器件技术研究进展

介绍了MOEMS惯性器件的概念和特点,总结了国内外MOEMS惯性器件包括MOEMS陀螺和MOEMS加速度计的研究方案和研究进展,指出未来MOEMS惯性器件可能的发展方向和发展前景。     

2016年国外惯性技术发展与回顾

以惯性技术研究与应用为主线,回顾了2016年国际惯性技术发展历程和现状,概括了惯性仪表、惯性系统当前的研究现状及应用,展望了惯性技术的未来发展.     

低成本光纤速率传感器惯性测量装置

Ａｌｌｉｅｄ Ｓｉｇｎａｌ公司精密产品部正在开发一种小型化低成本的惯性测量装置（ＩＭＵ）。其具有能用于枪炮发射（冲击大于１２０００ｇ）和恶劣环境条件的战术性能。与硅ＭＥＭＳ一起实现的最小结构ＰＯＧ能提供用于实现非常低成本ＩＭＵ的技术。本文给出传感器的选择以及ＩＭＵ设计和ＩＭＵ校准的方法,并且说明本独特设计的固有优点。Ａｌｌｉｅｄ Ｓｉｇｎａｌ公司的最小结构ＩＭＵ设计是基于普通组件和开环结构,使用Ａｌｌｉｅｄ Ｓｉｇｎａ ＩＭＵ产品系列中ＮＤＩ元件。该设计基本上采用现用的商品化速率和加速度传感器。改进的ＩＭＵ设计用于增程制导弹药计划。为了保护ＩＭＵ的耐枪炮冲击性,已经作了提高枪炮强度和机械装配设计及其试验。我们已经研究和实现了精巧的传感器模型和实时误差补偿技术,以保证性能符合要求和实现低的生产成本。借助于软件处理     

高过载微惯性器件研究现状

微惯性器件是目前制导战术武器的核心元器件,具有成本低、体积小、寿命长等优点,但是其如何在火炮膛内、侵彻着靶等过程中存活甚至正常工作,一直是各军事大国科研院所发展精确打击制导武器的重要研究方向。查阅了相关国内外文献,然后详细评述了目前关于应用于高过载环境下的微机械陀螺与微机械加速度计研究现状,指出了目前高过载环境微惯性器件的发展趋势与各国的研究进程,为我国发展高过载微惯性器件提供了方向与指导。     

2017年国外惯性技术发展与回顾

概述了国外惯性相关机构的发展变化,从环形激光陀螺（RLG）、光纤陀螺（FOG）、微机电（MEMS）陀螺和原子陀螺等角度详细介绍了近年来不同机构如美国诺格公司、霍尼韦尔公司、法国赛峰电子与防务公司、iXblue集团等的概况及其惯性仪表、系统的发展与应用。分析了全球定位系统（GPS）面临的严峻形势下,美国GPS的发展以及GPS拒止环境下部分项目的新进展。最后,对比了不同陀螺技术的发展和应用,总结了惯性技术的趋势。     

低成本战术级光纤陀螺惯性仪表

Ｈｏｎｅｙ ｗｅｌｌ公司在美国空军签定了一份合同，研制一种低价的，小型战术级光纤陀螺仪表惯性测量系统。研制的重点是在要求的性能指标下，在维持性能的同时，降低ＦＯＧ，ＩＭＵ的成本。下面半讲述设计原理，系统设计及主要的测试结果。     

以智能传感器为基础的光纤陀螺系统

市场对陀螺系统的需求是样机成本低和交付时间短。多数用户愿意购买现有设备，或者等待现有设备的短期改进型，原因是系列模块系统设计在新系统的研制中有着较低成本和较短反馈时间的优势。     

激光捷联惯性/卫星组合导航系统基本原理及应用情况

激光捷联惯性/卫星组合导航系统是国外飞机上普遍采用的一种导航设备,但在国内飞机上的应用则刚刚起步。本文简要介绍了激光捷联惯性/卫星组合导航系统的基本原理及应用情况。     

表面微加工惯性传感器的实例—一种电容式加速度计

本文介绍了单一芯片上的三敏感轴表面微加工加速度计的技术原理,传感器的设计以及与之相关各单轴加速度计的测量结果。传感器的机械结构由厚为１０微米的多晶硅层采用高淀积速率淀积工艺加工而成。实现该传感器的全部制造过程是考虑到与化ＢＩＣＭＯＳ制造过程合二为一的要求。     

某型导引头惯性传感器封装胶裂纹分析

惯性传感器是某型导引头的重要组成部分,在维修过程中发现该惯性传感器表面的封装胶出现批量裂纹故障。对封装胶开裂原因进行分析,通过试验验证了封装胶裂纹对传感器性能的影响,根据开裂原因制订了封装胶裂纹修复措施。     

振动惯性加速度计（VIA）——一种高精度低成本的微型传感器

对于有标度因数精度要求的应用来说,振梁加速度计是一种很有吸引力的仪表。其工作原理基于：一个振动的梁在受到由加速度引起的压缩式拉伸的应力时其谐振频率将会改变。