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相似文献
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1.
采用离子注入、沉积、动态混合注入沉积工艺,在硅基体上制备TiN膜层。用纳米划痕法检测成膜质量,用扫描电镜观察划痕形貌。对比分析结果表明,动态混合离子注入沉积工艺对提高膜层与基体的结合性能效果显著。  相似文献   

2.
以氮气为反应气体,用真空阴极电弧沉积法制备了CNx膜,对工艺参数对膜层的沉积速率,化学成份的影响及膜结合状态进行了研究,结果表明,沉积速率随着氮气分压的提高而下降,当氨气分压达到6.7Pa时将没有膜的沉积;CNx膜主要由碳和氮组成,降低真空系统的抽速,。将反应气体导至靶面附近,提高氮气分压可以提高膜层中氮含量;氮是以化合态存在于膜层中。  相似文献   

3.
对 2Cr13不锈钢表面进行了等离子体浸没离子注入(PIII)与离子束增强沉积(IBED)复合强化处理。对强化后的试样进行了俄歇电子能谱(AES)、X光电子能谱(XPS)分析及显微硬度、摩擦磨损和耐腐蚀性能测试。结果表明,处理后的试样表面层中含有强化相TiN和CrN;与基体相比,被处理试样的显微硬度显著增大,最大增幅达80 4%;摩擦系数降至 0 2~0 3,磨痕宽度最大减少了近 4倍;腐蚀电位最大提高了 5倍,腐蚀电流密度减少了 26倍。磨损中粘着现象大大减轻,耐磨耐蚀性能得到了显著改善。  相似文献   

4.
镁合金AZ91表面弧辉等离子沉积TiN/CrN薄膜的摩擦行为研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
镁合金具有高的比强度、低的弹性模量、减震等优点,在航空航天领域具有很大的应用前景.但是低劣的耐磨性导致镁合金限制于制造静载零件.为改进其耐磨性,采用弧辉等离子沉积的新工艺在镁合金AZ91表面涂覆TiN/CrN多层薄膜.薄膜由12层TiN和CrN交替沉积而成,总厚度为2 μm.用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和辉光放电光谱(GDS)分析涂层的成分和微观结构.采用球盘磨损试验测试摩擦系数,并计算出比磨损率.结果表明,与未处理试样相比摩擦系数增大,但磨损率急剧下降.薄膜的表面硬度超过HK0.011433.  相似文献   

5.
用离子束辅助沉积(IBAD)工艺制备TiCxNy膜的研究   总被引:4,自引:0,他引:4  
用离子束辅助沉积(IBAD)工艺在9Cr18、GCr15钢基体上形成了TiCxNy膜。TEM观察发现膜均呈多晶结构,都具有(111)、(200)和(220)择优取向。AES和XPS分析进一步证实,TiCxNy膜呈含氧配置。干摩擦表明膜的抗氧化性能优良,其存在能有效抑制基体在摩擦过程中氧化膜的形成。又由于膜的硬度高,润滑性良好,每种基体的磨损特性都得到了显著地改善。但随着基体不同,膜的力学机械性能随  相似文献   

6.
金属基高功率CO2激光沉积超硬Si3N4膜层性能研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文采用高功率CO2激光在金属基材汽相沉积出厚度-30μm标准化学计量配比、平均硬度达2200HK的a-Si3N4膜层,与基材有良好的结合界面,实验分析表明所沉积膜具有超硬和良好的耐磨抗蚀等性能。  相似文献   

7.
采用喷射电沉积方法在45钢基体表面制备了纳米结构镍涂层,研究了激光重熔工艺对涂层性能的影响。用扫描电镜和X射线衍射仪对涂层表面形貌和晶粒尺寸进行分析,并对涂层做表面显微硬度测试和耐腐蚀性试验。结果表明:在优化的工艺参数下,喷射电沉积制备的镍涂层表面比较平整、结合较致密,由平均尺寸为13.7 nm的纳米晶颗粒组成,但涂层中仍存在一些孔隙及其它缺陷;经过激光重熔后,熔融区内的晶粒尺寸明显减小,涂层致密化程度有所提高并使涂层与基体由机械结合变为冶金结合,因此涂层的表面显微硬度和耐腐蚀性能得到明显的提高。  相似文献   

8.
磷化底漆与阿洛丁化学转化膜耐蚀性能的对比研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
通过电化学阻抗谱和恒电位稳态阳极极化曲线2种电化学测试方法,对磷化底漆和阿洛丁化学转化膜进行了测试,发现磷化底漆的耐蚀性明显优于阿洛丁化学转化膜,其极化电阻RP比阿洛丁转化膜高一个数量级,钝化区电位范围在-0.75~ 1.0V之间,而阿洛丁化学转化膜钝化区电位范围明显偏低,在-2.0~0.00V之间。  相似文献   

9.
利用Ospray公司的喷射沉积设备制备了Al11.3Zn2.4Mg1.1Cu合金,合金挤压成棒材后,经过固溶和时效处理,用万能材料实验机对其进行了力学性能测试,合金的抗拉强度为849 MPa、屈服强度为796 MPa,延伸率为3.3%.透射电镜和扫描电镜对拉伸试样微观组织的研究结果表明,合金微观组织中包括微米级晶粒和纳米级晶粒,合金的强化方式为纳米晶强化、固溶强化以及沉淀强化,拉伸试样的断口分析表明,合金的断裂方式主要为沿晶断裂.  相似文献   

10.
采用ZDH-100型号离子束复合沉积设备沉积WS_2-Ti-Ag复合薄膜,基材为轴承钢和单晶硅(100).采用场发射扫描电子显微镜、XRD衍射仪,检测复合薄膜的表面形貌、微观结构.采用球-盘式摩擦磨损试验机,对复合薄膜在大气环境中的摩擦性能进行了研究.结果表明:采用离子束辅助沉积技术制备的WS_2-Ti-Ag复合薄膜是非晶态薄膜;并且随法向载荷的增加,复合薄膜的摩擦因数减小,摩擦状态越稳定,耐磨寿命越短.  相似文献   

11.
采用化学液相沉积方法在醋酸铅溶液体系中制备了厚度在微米量级的PbSe薄膜,通过扫描电镜、X射线衍射和红外光谱分析等测试手段研究了PbSe薄膜的生长过程以及沉积时间对薄膜相结构、表面形貌和红外透光性能的影响.研究结果表明:随着沉积时间的增加,薄膜致密度增大,Se/Pb原子比增加,都为表面富Se的PbSe薄膜;在不同沉积时...  相似文献   

12.
对CVD金刚石膜的离子束铣削、电子束加工、激光加工、化学辅助机械抛光、热化学抛光等抛光技术的加工方法与原理进行了介绍,分析了这些方法的优点和不足之处。并展望了CVD金刚石薄膜抛光技术的发展方向。  相似文献   

13.
利用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)复合强化技术,在AISI440C航空轴承钢表面合成了类金刚石碳(DLC)薄膜。Raman光谱分析揭示出所制备的DLC膜层主要是由金刚石键(sp3)和石墨键(sp2)组成的混合无定形碳膜,且sp3键含量大于10%。原子力显微镜(AFM)形貌表明,DLC膜层表面光滑,结构致密均匀,与基体结合良好。被处理薄膜试样在90%置信区间下的疲劳寿命L10,L50,特征疲劳寿命La和平均寿命较基体分别延长了10.1,4.2,3.5和3.6倍。ANSYS模拟结果显示,最大剪切应力出现在膜基结合处并且靠近膜层内部,最大值达到2 150 MPa。结合ANSYS模拟结果和扫描电镜(SEM)观察形貌分析发现,膜层内部存在的微观缺陷是滚动接触疲劳裂纹产生的诱因,循环载荷所形成的最大剪切应力和润滑油中污染颗粒的共同作用是疲劳磨坑最终形成的外在动力。建立了循环载荷条件下PIIID DLC/AISI440C轴承接触疲劳破坏的5阶段物理模型。  相似文献   

14.
IBAD法沉积TiN薄膜的机械和耐腐性   总被引:4,自引:0,他引:4  
用离子束辅助沉积(IBAD)方法在医用不锈钢317L基底上沉积TiN陶瓷薄膜。通过X射线衍射(XRD)和俄歇电子能谱(AES)分析研究了薄膜的微结构;测试了薄膜的耐磨性及薄膜与基底的附着力:运用电化学腐蚀的方法检测了薄膜在Hank’s模拟体液中的耐腐蚀性能。研究结果表明:用高、低能氮离子束兼用的IBAD方法沉积TiN多晶薄膜后,材料表面结构和性能发生明显改变。表面硬度和耐磨性有明显提高,在Hank’s模拟体液中显示出更强的抗腐蚀能力。  相似文献   

15.
通过激光Raman光谱、X射线光电子谱以及电阻和显微硬度的测试,研究了GCr15钢及镀钛GCr15钢试样经乙等离子基离子注入所得表面改性层的化学结构。  相似文献   

16.
根据高等职业教育新的课程理念,对《制冷技术》课程的教学进行了改革。基于对实际工作过程的分析和思考,设计了学习情境,重构了课程内容,以学生为主体组织实施教学,创新了考核方法,有效地提高了教学效果。  相似文献   

17.
带有微尘的空气进入航空发动机,极易在涡轮叶片内冷通道发生沉积。为探究微尘沉积形貌对涡轮叶片内冷通道换热特性的影响,选取冲击气膜冷却结构,基于微尘沉积实验结果,构造微尘沉积形貌,由锥状突起和环状突起组成,通过数值模拟获得不同射流雷诺数下冲击靶面努塞尔数Nu。研究结果表明,冲击靶面微尘沉积层的出现,将大幅降低浸润面积平均努塞尔数Nuwetted,而对映射面积平均努塞尔数Nuavg影响较小;冲击驻点周围的高换热区范围减少;相邻冲击孔中点附近的高换热区努塞尔数Nu增大;此外,射流雷诺数的增大整体上提高了冲击靶面的换热强度。由于锥状突起和环状突起的扰动作用, 壁面附近回流涡增多, 使得冲击靶面大部分区域温度边界层厚度增加,因此换热性能降低。  相似文献   

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