高速精密激光干涉测量的研究现状及其关键技术

总结了高速精密激光干涉测量的研究现状；分析了影响测量精度和提高测量速度的主要因素及解决问题的关键技术，包括激光稳频技术和光学反馈、精度与测速的制约关系、空气折射率的影响及补偿、电子细分技术、光学非线性误差等     

两米光栅——线纹自动测量仪（一）

描述了一台能够对长度达１ｍ的线纹尺和长度达２ｍ的光栅尺（线位移传感器）进行测量的激光干涉仪，干涉仪设计成了双干涉光路系统，以消除光栅尺安装引入的阿贝误差，这台测量仪采用干涉条纹计量原理，对光栅尺和线纹尺的线值精度进行检测，并能对光机信号的质量进行评价。测量过程中，对空气折射率实现了实时修正。     

线纹尺安装方式对空气折射率实时修正效果的影响

根据三种实际测量情况进行分析,介绍了在使用激光干涉法测量线纹尺过程中,空气折射率实时修正技术对测量结果的影响与仪器布局和线纹尺安装方式的关系,并得出了相应的结论.     

捷联惯性制导系统的圆锥误差及其补偿

圆锥误差是捷联惯导系统,特别是激光陀螺捷联惯导系统重要的误差源,为提高激光捷联惯性系统的导航精度,防止姿态误差的积累,本文研究了圆锥补偿算法和圆锥补偿误差特性,给出了常用的8种圆锥补偿算法,针对激光陀螺惯组的实际应用背景,开展了弹道仿真研究,给出了圆锥误差对激光陀螺捷联惯导系统导航精度的影响和补偿修正的效果。     

移相干涉中移相误差测量与补偿

移相干涉测量中对移相器的移相误差进行测量与补偿是提高该测量方法准确度的有效手段。通过研究移相干涉移相误差对测量结果的影响,提出了测量移相器工作时位移与角度变化的方法,建立了相应的实验测量装置,实现了移相器的位移及角度变化的测量。根据移相器中位移与角度的数学关系完成了移相误差的补偿,修正后的移相效果在移相干涉仪中采用了整周期移相干涉图灰度差值的方法进行了验证。     

相位偏移干涉测量中移相误差补偿技术研究

 在相位偏移干涉测量技术中,一阶线性和二阶非线性移相误差是产生相位检测误差的主要因素。在研究移相误差对相位偏移干涉法测量精度影响的基础上,提出五步移相算法一阶线性和二阶非线性移相误差补偿技术。该方法从相位偏移干涉图中拟和出移相过程中存在的移相误差,对五幅算法结果进行误差修正。试验证明移相器存在 10%一阶线性误差和 1 %二阶非线性误差时,五幅算法相位检测误差为 0.12弧度;采用该补偿方法可以将相位测量精度减少到 0.02弧度,相当于采用氦氖激光器的倍程干涉仪中位移测量精度从 6.0 nm提高到 1 nm。     

接触定位式量块干涉仪测量不确定度的分析

分析了一台用于测量量块的激光干涉仪的测量不确定度。着重介绍了干涉信号质量，空气折射率及材料热膨胀等因素对测量不确定度的影响。     

数控机床几何误差测量研究现状及趋势

数控机床作为现代制造加工业的"工业母机",是衡量国家制造业的重要标志。随着技术的发展,对机床加工精度的要求越来越高。因此,我国数控机床精度和精度保持性面临着严峻的挑战,如何快速准确测量数控机床的各种误差成为该领域的一个研究热点和重点。首先从测量仪器角度以及测量策略研究角度回顾了数控机床激光干涉测量、激光跟踪测量、空间体积误差测量、球杆仪测量、平面光栅测试、R-Test、标准件测试等主要几何误差综合测量方法,并对热误差、力误差等相关研究做了简要回顾。在此基础上,分析了当前数控机床误差测量面临的主要挑战以及下一步的发展趋势,为国产数控机床误差测量方法与技术发展提供了建议。     

吸气式发动机试验中空气流量的计算

为降低吸气式发动机试验中空气流量测量的计算误差，分析三种常用的测量空气流量计算方法的基础上，提出了可压流温比修正算法和无方法误差的程序计算法，分析了各种方法的适用范围和方法误差。同时，提出了空气湿度、直接加热污染和管壁受热等对物性参数和管径的修正方法。结果表明，程序计算法没有误差，在高超声速飞行的模拟试验中尤为适用；可压流温比修正法可以在工程上代替程序计算法，在广阔的压比和来流总温条件下，其方法误差可以忽略。     

双频激光干涉仪在SMART-CNC曲面磨床几何误差参数辨识中的实验研究

在对SMART-CNC磨床几何误差建模及对某双频激光干涉仪工作原理分析的基础上,针对该磨床的误差参数辨识进行了实际测量中的应用,并以检测结果作为数控机床误差补偿的前提进行几何误差补偿。     

某型号激光陀螺温度补偿技术的应用研究

温度是影响激光陀螺输出漂移的主要因素之一.在高精度的激光捷联惯导系统中,建立激光陀螺的温度误差模型具有十分重要的意义.在大量实验的基础上,研究了激光陀螺在不同环境温度下的漂移特性,提出了一种将静态温度模型与动态温度模型分开建模的方法.环境适应性实验验证该方法建立的温度补偿模型对于缓变温度环境与快速温变环境均适用.最后通过实际导航实验验证了该模型具有工程实用性.     

旋转变压器误差补偿技术及应用

分析了多极旋转变压器的误差特性,介绍了误差补偿原理及方法,并通过 试验,验证了误差补偿方法的正确性及可行性。本方法适用于惯导系统及转台的角度转 换,可有效提高转换精度。     

随钻用光纤陀螺惯导系统振动误差建模与辨识

随钻振动工作环境下,针对惯导系统传统的线性器件误差模型不能适用于线振动工作环境的问题,提出了适用于振动条件下的高阶器件误差模型。通过分析二次项误差在静止与振动状态下的误差传播特性,得出加速度计二次项误差为线振动中主要误差项,建立包含加速度计二次项误差的36阶Kalman滤波器。与传统33阶误差模型相比,36阶误差模型可以有效分离和辨识器件误差。最后,在线振动状态下进行导航验证。结果表明,补偿了二次项误差之后的导航误差得到了大幅优化,速度误差由50m/s减小至2.2m/s,位置误差由90000m减小至2000m,姿态误差由0.7°减小至0.01°。     

机床线性轴多自由度运动误差在线测量方法

激光多自由度误差测量方法常被用于测量机床运动误差.半导体激光器由于体积小、成本低等优点,常被作为激光多自由度误差测量系统的光源.但是,大气扰动和测量系统的变形将导致半导体激光器的出射光束产生漂移,影响测量系统的稳定性.同时,由于半导体激光器的发光特点,其光斑常为椭圆形,从而制约了以半导体激光器为光源的激光多自由度误差测...     

辊筒模具超精密加工机床几何误差建模及其补偿策略研究

本文以超精密模辊机床为研究载体,将具有代表性的环槽微结构阵列作为研究对象。通过多体系统理论以及齐次坐标变换的方法建立机床的几何误差模型从而得到几何误差对环槽微结构阵列的影响,并用激光干涉仪对几何误差分量进行了测量。在进行数据处理后提出了一种补偿方法使环槽微结构的加工质量得到了改善。     

基于机械抖动激光陀螺仪的动态误差分析

机抖激光陀螺仪是目前应用最为广泛的激光陀螺,是实现应用捷联惯导系统进行导航的理想惯性仪表,研究激光陀螺仪的误差因素,并通过软件进行补偿提高其精度,对提高捷联惯导系统的精度具有重要意义。相对于研究已经较为成熟的静态误差,对动态误差的研究仍较少。针对激光陀螺的动态误差,通过分析在动态环境中抖动机构的输出对二频机抖激光陀螺输出的影响,建立了动态误差模型,为激光陀螺动态误差的研究提供了理论储备,具有一定的工程应用价值。     

应用双镜头三维LDV／PDPA系统诊断液流模型流动特性方法

在双透镜模式三维激光测速系统的基础上，提出了在测量液体模型时修正入射光聚焦变形的光程角－位移补偿法，此方法使两个人射镜的入射光学在具有多层不同性质介质的模型中保持相变，交通过位移补偿移入射光相交在同一测量平面上，得到了与入射角，介质折射率及坐标架位移有关的补偿公式，利用实时三维ＰＤＰＡ系统对旋转水平水流模型进行了调整和测量，实验结果证明了该方法的原理理正确的，对解决不同折射率介质的液体流场及液固－     

一种测量透明液体折射率的干涉折射计

本提出一种基于马赫－曾德干涉仪原理测量透明液体折射率的干涉折射计，讨论了两种测量方法及相应的计算公式，实验结果表明，该折射计结构简单，精度高，并且适用于各种透明液体对给定波长的折射率的测量。     

高精度测角系统细分误差分析

本文介绍以圆感应同步器作为测角传感器，用鉴幅型开环数显系统进行相对测量的测角系统，该系统能在快速转动下动态测量方位角，文章对信号处理系统的基本原理及其一些重要环节作了简要说明。对该系统存在的细分误差，重点从理论上进行了分析并推导了幅值误差和相位误差，根据推导结论，提出了进行细分误差补偿的方法，最后着重描述了系数调节和相位补偿的设计方法，该方法用在所承担的研制任务中，经过试验证明，得到了令人满意的结     

微机械捷联惯测装置误差补偿概述

本文简要介绍了微机械惯性测量系统的误差补偿。从惯性器件、MIMU、算法误差以及借助外界信息进行补偿几个方面讨论了在各个环节中存在的误差以及补偿方法。