1MΩ～100GΩ高值电阻器高精度的校准方法

高阻计、数字源表等仪器在半导体行业有着广泛的应用。但目前市场上1MΩ~100GΩ高值电阻器准确度(±1.0×10-3~±1.0×10-2)无法满足高阻计、数字源表等仪器电阻参数的溯源需求。本文提出了一种高精度的高值电阻器的校准方法,该方法由两个多功能校准源和指零仪组成的比较电桥实现。根据校准方法组建了1MΩ~100GΩ测量系统,测量结果的不确定度为3.0×10-5~8.0×10-4,可满足市场上绝大部分高阻测量仪器的校准需求。     

高阻计检定方法

本文叙述了高阻计的检定方法。高阻计的检定由三部分组成:电压及其倍率的测量、电阻及其倍率的测量和电流的测量。电阻检测范围为10~6～10~(13)Ω,电流检测范围为10~(-5)～10~(-13)A。检定的不确定度为0.1％～3％。     

1MΩ～100GΩ高值电阻器高精度的校准方法CSCD

高阻计、数字源表等仪器在半导体行业有着广泛的应用. 但目前市场上1MΩ-100GΩ高值电阻器准确度（±1. 0x10-3 -±1. 0x10-2）无法满足高阻计、数字源表等仪器电阻参数的溯源需求. 本文提出了一种高精度的高值电阻器的校准方法,该方法由两个多功能校准源和指零仪组成的比较电桥实现. 根据校准方法组建了1MΩ-100GΩ测量系统,测量结果的不确定度为3. 0x10-5 -8. 0x10-4,可满足市场上绝大部分高阻测量仪器的校准需求.     

基于单直角电桥的交流电阻校准装置测量不确定度评定

本文基于单直角电桥原理，以数字式直角电桥源作为双路正交电压信号输出，搭建了交流电阻校准装置，利用单直角电桥的平衡方程，计算出待测交流电阻的阻值作为校准值。在频率1.591 55kHz、幅值有效值1V下，以标准电容100nF、交流电阻1kΩ为测试点，对交流电阻校准装置的测量不确定度进行了评定：建立了基于单直角电桥原理的被校交流电阻的数学模型，分析了测量不确定度的来源，并计算了交流电阻标准不确定度的各个分量。最后根据测量不确定度传播公式对其进行合成，计算得到合成标准不确定度，并通过扩展不确定度得到整个交流电阻校准装置的校准结果。     

基于单直角电桥的交流电阻校准装置测量不确定度评定

本文基于单直角电桥原理，以数字式直角电桥源作为双路正交电压信号输出，搭建了交流电阻校准装置，利用单直角电桥的平衡方程，计算出待测交流电阻的阻值作为校准值。在频率1.591 55kHz、幅值有效值1V下，以标准电容100nF、交流电阻1kΩ为测试点，对交流电阻校准装置的测量不确定度进行了评定：建立了基于单直角电桥原理的被校交流电阻的数学模型，分析了测量不确定度的来源，并计算了交流电阻标准不确定度的各个分量。最后根据测量不确定度传播公式对其进行合成，计算得到合成标准不确定度，并通过扩展不确定度得到整个交流电阻校准装置的校准结果。     

直流高阻电桥检定方法

检定一般的直流电桥需要多只高准确度标准电阻及一台高准确度电阻箱。对于检定测量范围为10~3～10~(12)Ω的高阻电桥是很难找全如此多的标准。为了克服此困难,介绍仪用一只高准确度标准电阻就能对高阻电桥进行检定的方法,本方法所用其它辅助电阻及电阻箱,只起平衡作用无准确度要求。因此短期稳定即可。此方法给计量检定人员提供了方便。     

自动功率计校准系统

校准微波功率计所需要的仪器已重新设计成可用计算器控制,并且能在0.5至11毫瓦的11个功率电平上提供0.01到18千兆赫的校准。用这些仪器组成的系统(系统II)可以以每点1.5秒的速度确定校准因子,几乎不需要操作者看管。高度对称的电阻功率分配器用来在整个频率范围内给被测器件和校准用标准提供接近于相等的入射功率。利用校准用标准和射频功率电平控制器,使送入功分器的功率保持在所选择的电平上。被测器件的输出用热敏电阻座或镇流电阻座Hogelarsen双电动势(Two-E.M.F)电桥和数字电压表进行测量。从电压表或被测功率计的IEEE488接口母线的输出可用计算器读出。要使辐射热测量座长期稳定,就需要进行温度控制。利用一对电桥和具有电阻功分器的温度控制器可以对两个辐射热测量座进行交替比较。本文介绍一种自动校准微波功率计、辐射热测量座和其他功率传感器的计算机辅助测量系统,提出了用功分器校准辐射热测量座的理论,讨论了该系统的使用方法。     

直流微电流标准源

一、概述微电流测试仪的最高分辨力已达10~(-17)A,不确定度在百分之几数量级。用于校准微电流测试仪器的微电流源主要有三种类型:电阻式、电容式和电离式。电阻式直流微电流源由可调参考电压源和一系列高阻组成,具有结构简单和能持续输出(t—∞)的优点,但由于高阻的稳定性差,这种微电流源的不确定度不太高。目前,电阻式微电流源在10~(-13)A输出时,不确定度只能达到百分之几数量级。电容式微电流源以线变电压发生器和微分电容为基础,采用微分线变电压原理实现微小电流输出。这种微电流源在10~(-13)A     

定容式流导法微流量校准装置的设计

定容式流导法微流量校准装置是气体微流量的计量标准,由定容式流量计和流导法两部分组成,定容式流量计用于大流量的测量,流导法用于小流量的测量。定容式流量计有两种工作模式,可测量流入定容室的气体流量;也可测量流出定容室的流量。该校准装置,可采用定容法和流导法对气体微流量进行校准,校准范围为(5×10-2~5×10-11)Pa.m3/s,合成标准不确定度为0.56%~1.70%。     

一种高g值冲击标准校准裝置

本文介绍了高g值冲击标准校准装置的原理和方法,详细分析了该装置的误差来源及其合成方法,并给出了实验结果。该装置的不确定度为U_(95％)=±3％。(200～2×10~5m/S~2),U_(95％)=±5％(3×10~5m/S~2)。用该装置对美国ENDEVCO公司的2270标准加速度计进行幅值线性度校准,其校准值与出厂值完全一致。     

电介质材料射频电参数校准系统的组建

在介绍电介质材料电参数测量方法的基础上,研究了电介质材料1MHz-1GHz射频电参数量值溯源和测量方案：采用自行研制谐振法校准装置和（射频Ⅰ-Ⅴ法和自动平衡电桥法）商用仪器组建电介质材料射频电参数校准系统。介绍了系统基本原理,阐述了谐振法校准装置电极系统结构设计特点,分析了校准系统的测量不确定度。     

供测量高阻率材料电压、电流和电阻用的前置放大器

本文介绍一种供测量高阻率材料直流电压、电流和电阻用的前置放大器,其测量范围分别为:电压:30μv～10v;电流:10~(-2)～10~(-13)A;电阻:10~3～10~(13)Ω。若在反馈回路中接入适当的电容器还可测量电荷。本前置放大器采用市场上供应的运算放大器制成,其体积较小,并可与市场上大量供应的电压表或记录器联合使用,适用于无定形的(非晶体的)半导体薄膜电气性能的就地测量。     

交流量子化霍尔效应的研究与应用

电阻有频率变差,电阻在交流状态下的溯源是计量领域的难题,以往采用交直流差可计算电阻实现了交流电阻的溯源,但存在稳定性和一致性较差的问题,当前采用交流量子化霍尔效应作为交流电阻标准成为计量领域的研究热点。其中需要解决交流量子化霍尔电阻及其向实物标准电阻传递的准确度问题。本文介绍了采用分裂式屏蔽结构克服交流量子化霍尔电阻频率误差的方法,研制10-8量级高准确度四端对电桥满足交流量子电阻的传递需求,研制完全等电位屏蔽结构的交流电桥校准装置保证四端对电桥的准确度,并介绍了交流量子电阻基准的应用领域。     

比对法真空计量标准装置的研制

比对法真空计量标准装置是一种结构简单、操作方便、检定效率高、实用性强的二等真空标准装置。主要技术要求完全符合国际标准化组织(ISO)和国内有关真空标准的规定,尤其适用于真空计量二级站和一些基层单位大量常规校准,校准范围为10~5～10~(-4)Pa,总不确定度小于10％。在10~(-4)Pa范围内,压力的稳定度好于1％,在1～10~5Pa范围内,压力的稳定度好于0.5％。该标准装置的极限压力达10~(-6)pa。     

振动传感器的微加速度动态校准

阐述了高灵敏度振动传感器在超低频微小加速度下进行动态校准的校准装置工作原理、校准方法 ,分析了其校准不确定度。该装置采用曲率半径为 10m的虚拟摆结构 ,从较强的环境干扰噪声中利用数字滤波技术成功地拾检微弱振动信号 ,使微小标准加速度获得复现。该装置可在 (0 .0 0 1～ 0 .1)Hz超低频率范围内和 (1× 10 -6～ 1× 10 -2 )m s2 微小加速度范围内实现高准确度激光绝对校准和比较法校准 ,其校准不确定度达 0 .5%。     

高准确度惯性测量装置全温测试系统的校准

阐述了高准确度捷联惯性测量装置全温测试系统的校准测试方法。通过对软硬件进行校准测试,验证了该系统可以完成不同种类的惯性测量装置误差建模和综合测试。     

基于结构分区与应变电桥解耦的支柱式主起落架载荷测量

为解决应变法测量支柱式主起落架载荷中的低灵敏度、高耦合度和强非线性等问题,提出了结构分区解耦和应变电桥解耦设计方法。在集中传力的轮轴和活塞杆上优选出不同等效分量载荷作用下的结构变形有效部位,并在对应部位优化布置了弯矩-剪力-扭矩应变电桥阵列,通过某型飞机起落架综合加载校准,得到了简洁可靠的支柱式主起落架载荷测量模型。载荷校准试验表明:轮轴上剪力电桥对垂向载荷的响应灵敏度相比支柱上拉压电桥对垂向载荷的响应灵敏度提高约60%,并与压缩行程变化无关。在该型机着陆试验中,利用所提载荷测量模型和飞行数据计算得到了满足工程精度要求的主起落架着陆载荷和缓冲器功量吸收结果。      

自动网络测试系统

本文介绍计量院研制的自动网络参数测试系统。它被用作网络参数国家标准装置。为了提高测量准确度,系统硬件采用了多项先进技术方案,同时研制了新的功能更强的系统应用软件。测试系统工作频带:100～2000MHz,量程可达70dB。反射系数测量不确定度△Г≤±1.5×10~(-3)(1+A) △φ≤±(0.2+tg~(-1)(0.0015)/Г)°.传输系数测量不确定度△A≤±(1×10~(-2)+5×10~(-4)A)dB,Aθ≤±0.2° A<40dB。     

测量高损耗材料在高频下的电容和电阻的新方法

本文介绍精密测量高损耗材料(Q_x 值低至5×10~(-3)左右)的电容 C_x 和损耗电阻 R_x 的新方法。一测量电路的原理图1示出可在高频下不受并联电阻值的影响、准确测量电容和同时侧量该并联电阻的电子电路。图1(")示出的为静电藕合并联谐振式电路,图1(b)则为电磁祸合串联谐振     

HP8409C自动网络分析仪在雷达截面测量中的应用

进行雷达截面(RCS)测量时,主要问题是需要消除测量数据中非期望信号的影响.为此,提出了一种使用 HP8409C 自动网络分析仪测量目标 RCS 的方法,介绍了测试系统的设置和工作原理,以及借助仪器校准功能和所扩展的时域能力完成非期望信号的消除处理.说明 RCS非暗室测量的可行性,简述了 HP8409C 的扫频测量、校准步骤以及外场测试的结果。