MEMS热膜式壁面剪应力传感器微弱信号检测

MEMS热膜式壁面剪应力传感器的输出信号是带有基础电压的微弱电压信号，无法通过放大器直接放大的方法实现高精度测量。文章提出在输出信号放大前增加信号平衡环节，在保留有效信号的前提下减小基础电压，再通过放大的方法实现其高精度测量，有效解决了MEMS热膜式壁面剪应力传感器微弱信号检测的难题。文章介绍了MEMS热膜式壁面剪应力传感器微弱信号检测的技术方案、关键技术、测试检验及试验应用实例。     

MEMS梁膜结构流量传感器设计与实现

流量是工业检测重要参数之一。流量检测技术随着微机械电子系统（MEMS）技术的发展与应用，向着小型化、高精度、智能化的方向发展。基于MEMS技术设计了一种梁膜结合的压差式流量传感器结构，分析了其基本工作原理，采用硅微加工工艺对传感器进行了流片加工，然后对封装完成的传感器样机进行了气流和水流静态性能测试。气流测试灵敏度为0.3508mV/（ms-1）2，测试基本精度为0.5885%FS；水流测试灵敏度为41.5241mV/（ms-1）2，测试基本精度为0.9323%FS。结果表明，所设计传感器具有较高的灵敏度与基本精度，从而能完成流量信号的检测。     

耐高温动态压力传感器与实验分析研究

采用微机械电子系统（Micro Electro-Mechanical Systems，MEMS）和硅隔离（Silicon on Insulator，SOI）技术制作出了量程为25MPa的倒杯式耐高温压阻力敏芯片，敏感电阻条与硅基底之间采用二氧化硅隔离，解决了在大于120℃高温下力敏芯片工作稳定性和可靠性的难题。设计了齐平式机械封装结构，避免了管腔效应影响，提高了传感器的动态响应频率。对研制出的耐高温动态压力传感器进行了静态性能和动态性能的标定实验，静态实验温度为250℃，得到了传感器基本性能参数，分析了传感器的不确定度，得出该传感器的基本误差为±0.114%FS（Full Scale，全量程），不确定度为0.01794mV，计算得到了传感器的热零点漂移和热灵敏度漂移指标，由动态性能实验得到传感器的响应频率为555.6kHz，实验表明所研制的MEMS压力传感器在高温下具有良好的精度和固有频率。     

基于微型压力传感器阵列的翼面压力分布直接测量系统

研发了微型压力传感器并构成柔性衬底基阵列,直接置于翼型外表面实现压力分布测量.结合传感器特性和气动测量需求,设计了压力传感器阵列恒流驱动电路和差分滤波电路,并通过LabVIEW调用所开发的MAT-LAB的应用程序实现了数据的在线处理和实时显示.结合NACA0012翼型对该测压系统进行了低速风洞实验.对其有效进行了初步验证.     

交流发电机电压调节器负载电流限制电路的研究

发电机负载电流限制对保护飞机电源系统安全工作有重要意义，控制发电机励磁系统可以较灵活地实现这一功能。本文在发电机电压调节器励磁控制的基础上，提出增加一套负载电流限制电路的方案，并为某型飞机电压调节器设计出负载电流限制电路。理论分析和实验表明：该电路克服了已有电路影响调压精度的缺点，能可靠地将发电机输出短路电流限制在3倍额定值，获得理想的飞机电源系统输出外特性。     

电加工脉冲电源的闭环系统设计

针对两级结构复合脉冲(电压脉冲／电流脉冲)应用于电火花加工电源，建立了系统的大信号扰动函数和控制模型。通过对电流反馈回路中补偿网络的分析设计，较好地解决了系统的动态响应和稳定性问题。电路仿真和原理样机实验结果表明。该系统具有良好的动态特性和抗扰动性，同时也验证了电路拓扑、控制模型和闭环系统设计方法的正确性。     

两级结构宽输出电压范围的功率因数校正器的稳定性分析和设计

为了实现功率因数校正器的变电压输出，采用两级变换是较为理想的方案。针对两级电路级联后可能存在的系统工作不稳定现象，通过分析不同输出电压和功率情况下前级变换器输出阻抗和后级变换器输入阻抗特性，对调节器参数进行了优化设计，保证了系统既有良好的特性，又具有较大的稳定裕量，同时完成了额定输出功率1kW／输出电压150-360V实验样机，验证了分析方法和参数设计的正确性。     

基于复合热膜技术的低风速及湍流测量

针对复合热膜应用于低风速和湍流强度测量方法进行了研究。风洞在进行低风速测量时普遍存在输出灵敏度不高的问题,采用增加热膜与环境温度差的方法,提高了热膜敏感探头在低速范围的输出灵敏度,实现了2m/s 内的风速和湍流准确测量。考虑到气体温度对热膜探头输出信号的影响,对温度补偿方法和补偿电路进行了研究,通过对电路的合理设计,实现了温差的精确控制。对热膜结构、尺寸和器件进行合理匹配,实现了复合热膜敏感探头的微型化设计。采用 MEMS 技术,通过最大限度减小加热电阻和测量电阻的尺寸,达到了较好的响应频率。测试结果表明,该复合热膜敏感探头可以满足低风速和湍流度的测试需求。     

工作在恒频的零电流降压式软开关电路的实现

工作在恒频的零电电流降压软开关电路既有PWM技术控制特性好，又有准谐振技术开关损耗的优点。本文简述了该电路的工作原理，着重分析了电路参数a的选择以及对变换器性能的影响；给出了电路参数归一化形式，并进行了实验。实验结果与理论分析是一致的。     

梁-膜结构微压传感器研制

由四个弹性梁和一个刚性中心膜构成的梁-膜结构,具有平面应力集中效应,与一般的结构相比,这种膜片在受到微压时即产生较大的应力集中,使传感器在测量微压时有较高的灵敏度,它的特别的结构能解决一般结构膜片在很薄时由膜应力和弯曲应力产生的严重的非线性.介绍的这种双面腐蚀形成的梁-膜结构的硅压阻式微压传感器的设计就是采用这种应力集中原理,芯片结构的力学特性分析及样件测试结果表明,这种结构的微压传感器具有较高的灵敏度和较低的非线性,成功地实现了对微小压力的测量.利用有限元仿真计算对用于100Pa压力测量的梁-膜结构硅压力传感器的结构参数进行优化,并对芯片版图设计、制作工艺技术和传感器的特性等问题进行了讨论.