静电悬浮微机械加速度计检测电路设计

静电悬浮微机械加速度计通过静电力把质量块无接触的悬浮起来,具有极高的分辨率.一般采用差动电容式位移检测的方式来精确检测质量块在电极腔内的运动,然后在通过悬浮控制系统来实现六自由度的有源悬浮.针对该电容的检测,本文介绍了一种基于环形二极管解调的单频载波公共激励电极电容式多路位移检测方案,并进行了设计仿真与实验测试,实验测...     

硅微加速度计控制系统设计

由于静电场的负刚度导致控制回路系统的不稳定,因此静电力闭环硅微加速度计控制系统设计是硅微加速度计技术的关键核心技术,也是硅微加速度计设计的难点技术之一。在硅微加速度计项目研制过程中,我们解决了仪表回路系统的稳定性问题、高增益和带宽的问题,保证了仪表启动的快速性、精度和稳定性。     

硅微加速度计系统设计技术

本文探讨了硅微加速度计的系统设计方法,采用专用MEMS设计软件建立了“三明治”式硅微加速度计自顶向下的系统模型,该模型对于硅微加速度计的系统设计和优化具有指导意义。通过优化改进设计,目前硅微加速度计零位重复性已达到2×10-4g（3个月,1σ）,正在开展探月二期工程的应用研究。     

硅微加速度计在动态测斜中的应用

现代工程中常常需要对平面的水平或斜度进行测量。目前普遍使用的测斜仪器主要有水泡式、电容传感器式、电位计传感器式等。它们测量精度低，易受外界环境的干扰，响应速度慢，难以满足实时性高的动态测量要求。本文介绍了硅微加速度计在动态测斜中的应用，叙述了应用中的几个关键技术问题，并给出了实地测量的结果。本文最后指出。硅微加速度计应用于动态测斜完全可行，通过合理的系统设计，可获得较高的精度。     

硅微加速度计六自由度悬浮控制系统设计

六轴静电悬浮的硅微加速度计以其低量程、高分辨率和多轴集成等特点,在微小航天器的无拖曳控制、微重力测量等方面有着独特而重要的用途.本文针对外带梳齿式长方体检测质量的表头结构,依据带宽、量程、刚度等指标要求,经位移检测解耦变换与加力控制耦合变换后,分别设计出六轴稳定悬浮控制器.在地面大气环境下的仿真分析结果表明,阻尼最小的...     

MS8000硅微加速度计的测试与分析

硅微加速度计作为一种新型惯性传感器,它在体积、重量、成本、功耗、可靠性和寿命方面都具有传统加速度计无可比拟的优势。本文阐述了MS8000硅微加速度计结构和工作原理,并对其重要性能参数进行了测试和分析。     

使用调制后的综合差分光学传感的微机械加速度计的比较性研究

本论文讲述了一种新型微机械加速度计的装配和特性，这种加速率计使用了一种新的传感技术，用调制后的综合差分光学传感（MIDOS），以探测它们检测质量的位移输出，此文讲述了混合电路装置的装配过程，这个装置由一个由铟撞击一个含有光电探测器的一个CMOS集成电路片而连接的总的微型机械部分和数字显示装置的电子线路组成，且装配了一些光电元件，并赋予它们特性。本文仔细讨论了光电元件间的差异以及它们测量特性间的比较（噪音等效加速度（NEA），带宽和线性），光电元件演示了带宽1KHz-4KHz，范围70（ug/√Hz)-1(mg/√Hz）的噪音等效加速度。     

硅微谐振加速度计的研究现状及发展趋势

硅微谐振加速度计具有体积小、 功耗低、 准数字量输出和精度提升大的优点,是一种具有良好应用前景的高精度MEMS惯性仪表.总结分析了近些年国内外在硅微谐振加速度计方面的研究现状,主要在结构设计及工艺、 测控电路设计等方面阐述了各自特点.最后,结合近些年MEMS惯性仪表的发展趋势,对硅微谐振加速度计晶圆级真空封装、 测控电路数字化、仪表补偿智能化3个发展方向进行了展望.     

微机械加速度计发展简述

本文以联合研制成果,介绍了微机械加速度计的工程化研制情况及国内微机械加速度计发展现状。     

基于压电式加速度计的振动测量原理及应用

阐述了利用压电式加速度计、电荷放大器、动态信号分析仪进行振动测量的原理及应用。     

惯性加速度计电流电压转换误差研究

在以压频转换为核心的石英挠性加速度计的数据采集应用中,以何种方式实现电流电压转换并保证引入误差最小,尚未有明确的计算与论证。本文通过对几种可能出现的电流电压转换方式的误差进行分析和计算,从基础结构上明确了这几种转换方式的优劣,得到了最佳转换方案。     

加速度计调零控制器的系统校正方法

针对挠性加速度计在调零时的系列问题,提出了一种防止系统振荡和提高系统静态精度的校正方法。通过计算机仿真和实际使用效果表明,可以有效地防止系统振荡并较好地提高系统的静态精度。并在加速度计未充油时就可知道其性能好坏。     

视频传输中的阻抗匹配研究

介绍了视频输入、输出电路的类型和各种阻抗匹配方法的特点,并列举了这些匹配方法在实践中的应用。     

实用化光力加速度计中单微球重复起支技术

针对光力加速度计的小型化应用,设计并制作了一种基于V型槽的片上光纤光阱,并采用机械振动方法实现了单微球重复起支。理论研究了利用机械振动方法实现微球起支、捕获的动力学过程。结果表明,只有当微球脱离捕获室底面的初始速度满足一定范围时才能稳定捕获,该初始速度范围与捕获室的几何参数有关。提出了利用两光纤中相向传播光的耦合功率监测微球捕获状态的方法,并通过实验完成了微球起支过程的自动控制,实现了单微球的重复起支与捕获。该片上光纤光阱制备方法和单微球重复起支技术可推动光力加速度计的实用化进程。     

一种新型无复位电路的双MOSFET正向变换器

讨论了传统的双MOSFET正向变换器在高频工作时存在的问题。介绍了一种无复位二极管的新型电路和变压器结构。最后给出实验结果。     

智能数字式低频信号发生器

采用一片ＡＴ８９Ｃ５１单片机和两片ＤＡＣ０８３２数模转换器组成数字式低频信号发生器,它具有价格低,性能高和在低频范围内稳定性好,操作方便,体积不,耗电少等特点。     

MWSF微波选频组件快速测试方法

针对MWSF微波选频组件故障率高,开发了一种可行的测试方法,解决了MWSF微波选频组件快速测试问题。     

变幅单频交流信号幅度的同步采集方法

叙述和介绍了采集交流信号的常用方法,指出了常用方法在采集幅度快速变化的交流小信号时存在的缺陷。在此基础上提出了一种新的交流信号同步采集方法,适合于对采样率和采集精度要求较高的场合。     

悬丝支承型加速度计静态温度模型辨识及温度补偿方法研究

为了消除环境温度变化对悬丝支承型加速度计精度的影响,采用最小二乘法拟合建立了-50～68℃温度范围内加速度计模型系数零偏K0和标度因数K1的温度模型。由TMS320F2812 DSP和测温模块LM47172组成的硬件系统,根据温度模型对加速度计输出进行补偿后,加速度计输出的拟合均方根误差保持在10-4g数量级以内,比未采用温度补偿时提高了一个数量级,补偿效果明显。