| γ射线和原子氧辐照对ZnO:Al薄膜的影响 |
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| 引用本文： | 王文文,刁训刚,王天民.γ射线和原子氧辐照对ZnO:Al薄膜的影响[J].宇航材料工艺,2010,40(3). |
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| 作者姓名： | 王文文 刁训刚 王天民 |
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| 作者单位： | 北京航空航天大学物理科学与核能工程学院,北京,100191 |
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| 基金项目： | 自然科学基金，航天科技创新基金 |
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| 摘 要： | 利用直流磁控溅射法制备了两组ZAO薄膜,使用60Co放射源对一组薄膜进行了γ射线辐照,在原子氧地面模拟设备中对另一组进行了原子氧辐照,并对辐照前后的样品进行了微观结构、表面形貌及电学特性的表征。结果表明,较高剂量率的γ射线辐照会降低薄膜的结晶程度,而低剂量率的辐照有相反作用。γ射线可激发薄膜中的电子,提高其载流子浓度,最大比率为16.39%。AO辐照仅对ZAO薄膜的表面具有氧化效应,导致表面化学成分中晶格氧比例的提高和薄膜载流子浓度的下降。随着薄膜厚度的增大,载流子浓度的下降比例逐渐减小。
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| 关 键 词： | 透明导电氧化物 ZnO:Al薄膜 γ射线 原子氧 电学性能 |
Effects of γ Ray Irradiation and Atomic Oxygen Treatment on ZnO: Al Films |
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| Wang Wenwen,Diao Xungang,Wang Tianmin.Effects of γ Ray Irradiation and Atomic Oxygen Treatment on ZnO: Al Films[J].Aerospace Materials & Technology,2010,40(3). |
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| Authors: | Wang Wenwen Diao Xungang Wang Tianmin |
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