|
|||||
|
|
| 超宽带矩形微同轴滤波器制备及性能分析 | |
| 作者姓名： | 汪郁东 赵广宏 陈春明 陈青松 谷胜明 许进 |
| 作者单位： | 北京遥测技术研究所 北京 100094;西北工业大学电子信息学院 西安 710029 |
| 摘 要： | 在射频微系统对高性能超宽带滤波器的需求下,基于矩形微同轴制备技术研究了10GHz～50GHz的超宽带矩形微同轴滤波器的设计及制备。在矩形微同轴传输线的电路基础上进行电路实现,对超宽带矩形微同轴滤波器模型进行仿真试验,结果显示,在10GHz～50GHz工作带宽内插入损耗小于0.8dB,回波损耗优于17dB,带外抑制达到45dB。基于矩形同轴结构的制备流程经过九次光刻-电铸-平坦化过程及一次介质支撑结构光刻后完成十层滤波器样件的制备,测得制备的滤波器样件性能与仿真曲线基本吻合,在40GHz时插入损耗为0.6dB,回波损耗为21.6dB,在5GHz和55GHz时带外抑制分别为41.8dB和43.9dB。矩形同轴结构的低损耗、高频段等优点在该超宽带矩形微同轴滤波器中有良好的体现。 |
| 关 键 词： | 微电子机械系统 矩形微同轴 超宽带 滤波器 |
Preparation and performance analysis of ultra-wideband rectangular micro-coaxial filter |
|
| Authors: | Wang Yudong Zhao Guanghong Chen Chunming Chen Qingsong Gu Shengming Xu Jin |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
| 点击此处可从《》浏览原始摘要信息 | |
| 点击此处可从《》下载全文 | |
